無塵室系統
無塵室系統，製造符合規格之潔淨空氣，連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端，無塵室內的製造區（FAB）。一般而言，製造潔淨空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經過無塵室系統各種處理單元裝置之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經由外氣空調箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）並控制其溫溼度後，經由回風管道間（Mech. Chase），將無塵室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至無塵室要求之規格，透過循環風扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動無塵室的氣流循環帶走微塵及熱量，最後經過超高效能過濾網（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾後，供應至Fab區。

無塵室空調的特性

1. 溫溼度要求比一般空調高
   • 一般空調要求在18°C~26 °C之間，相對溼度則在40%~65%之間；無塵室空調必須控制在22°C~24 °C之間，相對溼度則在45%~55%。
2. 恆溫恆溼控制
   • 由於半導體製程對溫溼度變化的大小極為敏感，故在無塵室大部分割區域必須控制在± 1°C及± 3%之內。
3. 所需的外氣較多
   • 由於半導體工廠中，製程系統需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產生的揮發氣體和廢氣必須予以全數排除，故排氣量相當大，為維持無塵室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。
4. 空調系統24小時全天運轉並監控管理
   • 半導體工廠部分製程裝置，對溫溼度變化極為敏感，如黃光區Stepper光學機台，些微的溫、溼度變化均會使裝置的準度偏差，另外晶片等產品也必須置放在定溫定溼的環境下，故空調系統必須24小時監控管理之。
5. 半導體廠無塵室室內壓力大小
   • 半導體廠無塵室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、溼度、微粒影響無塵室生產區的環境條件外，並可延長無塵室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔淨空氣增加而增加運轉成本。
6. 氣流分佈須均勻
   • 無塵室空調為帶走無塵室內所產生的微塵粒子以維持潔淨度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外，氣流的流線形狀也必須依不同的無塵室等級加以適當的控制。

（參考來源：https://zh.wikipedia.org/wiki/%E5%87%80%E5%AE%A4）